Mga Base ng Kuwarts
Pangalan:
12-pulgada na Quartz Pedestal
Pag-andar at Aplikasyon:
Ang Quartz Pedestals ay inilalagay sa gitnang uka ng base upang maikalat ang daloy ng gas at matiyak ang matatag na pagkakalantad ng gas sa mga wafer ng silikon sa loob ng bangka ng kuwarts na nakaposisyon sa tuktok. Ito ay inilalapat sa mga proseso ng pagmamanupaktura ng wafer tulad ng pagsasabog, oksihenasyon, CVD deposition at pagsusubo, na kung saan ay mga proseso ng mataas na temperatura.
Mga Kinakailangan sa Pagganap:
Mataas na temperatura paglaban, kaagnasan paglaban, mahusay na thermal katatagan, sandblasted ibabaw, at mababang karumihan nilalaman.
-
No.5177 Qianghua West Road, Dongqian Street, Nanxun District, Huzhou City, Zhejiang Province
-
+86-572-3032373
+86-572-3033016
Angsemiconductor quartz pedestals ay engineered na mga istraktura ng suporta na idinisenyo upang i-hold wafer bangka o carrier ligtas sa panahon ng mataas na temperatura semiconductor proseso. Ginawa mula sa ultra-mataas na kadalisayan fused quartz, ang mga base na ito ay naghahatid ng natitirang thermal katatagan, paglaban sa kaagnasan, at dimensional na katumpakan sa ilalim ng mahigpit na kondisyon ng pagmamanupaktura.
Partikular na nababagay para sa 300 mm wafer application, ang mga base na ito ay tinitiyak ang matatag at tumpak na paglalagay sa loob ng diffusion, oksihenasyon, LPCVD, at pagsusubo ng mga sistema ng hurno. Ang kanilang pino na ibabaw at matibay na istraktura ay nagpapaliit ng kontaminasyon ng maliit na butil at thermal deformation, na tumutulong na mapanatili ang isang malinis at pare-pareho na kapaligiran ng proseso.
Papel na ginagampanan ng Semiconductor Quartz Pedestals sa Wafer Support
Ang mga pedestal ng semiconductor quartz ay may mahalagang papel sa paggawa ng wafer sa pamamagitan ng pagbibigay ng matatag, mataas na temperatura na suporta para sa mga wafer ng silikon sa panahon ng mga proseso tulad ng pagpapalaganap ng oksihenasyon, oksihenasyon, pagdeposito ng CVD, at pagsusubo. Ginawa mula sa mataas na kadalisayan fused quartz, ang mga pedestal na ito ay lumalaban sa thermal shock, kaagnasan, at kontaminasyon ng kemikal, na tinitiyak na ang mga wafer ay nagpapanatili ng kanilang integridad ng istruktura at pagkakahanay sa buong pagproseso.
Sa pamamagitan ng pagsuporta sa mga wafer nang pantay-pantay, ang mga pedestal ng kuwarts ay tumutulong na mapanatili ang pare-pareho na spacing, i-optimize ang daloy ng gas, at itaguyod ang pare-parehong pamamahagi ng thermal. Ito ay direktang nag-aambag sa mas mataas na ani ng proseso, pinabuting kalidad ng wafer, at nabawasan ang mga rate ng depekto. Katugma sa parehong vertical at pahalang na mga sistema ng pugon, ang mga pedestal ng semiconductor quartz ay mahahalagang bahagi sa pagkamit ng paulit-ulit, mataas na katumpakan na mga kinalabasan ng pagmamanupaktura sa mga modernong semiconductor fabs.
