AngQuartz BaffleNagtatampok ng isang frosted, sandblasted ibabaw na idinisenyo upang magbigay ng epektibong thermal pagkakabukod sa loob ng mataas na temperatura semiconductor pugon tubes. Ang istraktura nito ay nagsasama ng mga maliliit na tubo upang mapadali ang tumpak na iniksyon ng mga gas ng proseso na kinakailangan para sa pagmamanupaktura ng wafer, tulad ng pagpapalaganap ng oksihenasyon, oksihenasyon, at pagdeposito ng CVD.

Itinayo mula sa mataas na kadalisayan fused quartz, ang baffle na ito ay nag-aalok ng mahusay na paglaban sa init, kemikal na kaagnasan, at thermal shock, habang pinapanatili ang mababang antas ng karumihan upang mabawasan ang mga panganib sa kontaminasyon. Ang sandblasted ibabaw ay nagpapahusay sa thermal performance at binabawasan ang pagbuo ng maliit na butil, na tinitiyak ang matatag na kontrol sa temperatura at pare-pareho ang pamamahagi ng gas sa buong proseso. Tamang-tama para sa semiconductor fabs at R & D labs, ang Quartz Baffle ay nagpapabuti sa pagkakapareho ng proseso at kalidad ng wafer.

Paano Pinapabuti ng Quartz Baffles ang Pagkakapare-pareho at Ani ng Wafer

1. Pagtiyak ng Pare-parehong Daloy ng Gas

Ang mga quartz baffles ay gumagabay sa mga gas ng proseso nang pantay-pantay sa lahat ng mga wafer. Sa pamamagitan ng pagpigil sa naisalokal na kaguluhan ng gas, tumutulong sila na mapanatili ang pare-pareho na mga reaksyon ng kemikal at pagdeposito ng layer, na binabawasan ang pagkakaiba-iba ng wafer-to-wafer.

2. Kontrol sa Pamamahagi ng Thermal

Ang mga baffle ay sumasalamin at nagpapakalat ng thermal energy, na nagpapaliit ng mga hot spot at direktang radiation sa mga ibabaw ng wafer. Ang unipormeng pamamahagi ng temperatura na ito ay nagsisiguro ng tumpak na pagpapalaganap ng mga proseso, oksihenasyon, at deposito, na pinoprotektahan ang mga wafer mula sa thermal stress.

3. Pag-iwas sa Kontaminasyon

Ang tumpak na disenyo ng kuwarts baffles binabawasan ang pagbuo ng maliit na butil at pag-backstream ng mga byproduct ng proseso. Ang mas malinis na kapaligiran sa pagproseso ay nag-aambag sa mas mataas na ani at mas mababang mga rate ng depekto.

4. Pagiging tugma sa Mga Awtomatikong Sistema

Ang mga de-kalidad na quartz baffle ay ginawa sa masikip na tolerances, tinitiyak ang tamang pagkakahanay at pagsasama sa mga carrier ng wafer at awtomatikong mga sistema ng paghawak, pinapanatili ang pagiging maaasahan ng proseso at paulit-ulit.

Sa pamamagitan ng pag-optimize ng daloy ng gas at thermal pagkakapareho habang pinapaliit ang mga panganib sa kontaminasyon, ang mga quartz baffles ay may mahalagang papel sa pagpapabuti ng pagkakapareho ng wafer at pagpapahusay ng mga ani ng produksyon ng semiconductor.