AngCurved Plate Fused Silica Boatay isang mataas na katumpakan wafer carrier na idinisenyo para sa mga aplikasyon ng semiconductor na kinasasangkutan ng pagproseso ng batch ng mataas na temperatura, tulad ng pagpapalaganap ng oksihenasyon, oksihenasyon, at pagdeposito ng CVD. Manufactured mula sa mataas na kadalisayan fused silica, ang bangka na ito ay naghahatid ng pambihirang thermal katatagan, minimal thermal expansion, at mahusay na paglaban sa parehong kaagnasan at thermal shock.

Ang baluktot na istraktura ng plato nito ay nag-aalok ng matatag na suporta sa wafer at pinahuhusay ang pare-parehong daloy ng gas at paglipat ng init sa loob ng tubo ng pugon. Ang makinis, malinis na ibabaw ay nagpapaliit ng pagbuo ng mga butil, habang ang mataas na optical transparency ng materyal ay sumusuporta sa visual na inspeksyon kung kinakailangan. Dinisenyo para sa pare-pareho ang pagkakahanay ng wafer at mababang panganib ng kontaminasyon, ang fused silica baluktot na plate boat ay nakakatugon sa mahigpit na mga kinakailangan ng advanced na pagmamanupaktura ng semiconductor, mga lab ng pananaliksik, at mga linya ng piloto.

Bakit tinawag itong Curved Plate Quartz Boat?

Ang terminong "Curved Plate Quartz Boat" ay nagmula sa parehong materyal at disenyo ng hugis nito:

Quartz:Ang bangka ay ginawa mula sa mataas na kadalisayan kuwarts (fused silica), isang materyal prized sa semiconductor manufacturing para sa kanyang mahusay na thermal katatagan, kemikal paglaban, at mababang karumihan nilalaman.

Curved Plate:Hindi tulad ng flat o tubular bangka, ang disenyo na ito ay nagtatampok ng isang plato na baluktot o hubog sa isang hugis arko. Ang baluktot (hubog) na istraktura ng plato na ito ay tumutulong na mapabuti ang pamamahagi ng daloy ng gas at pagkakapareho ng thermal sa paligid ng mga wafer sa panahon ng pagproseso ng mataas na temperatura. Ang kurbada ay nagbibigay-daan sa mas mahusay na pagkakalantad ng mga wafer upang maproseso ang mga gas at mas pantay na pamamahagi ng init.

Bangka:Sa pagproseso ng semiconductor, ang "bangka" ay ang termino ng industriya para sa isang carrier o kabit na humahawak ng mga wafer nang ligtas sa panahon ng pagproseso ng hurno o diffus tube.

Kaya, ang "Curved Plate Quartz Boat" ay literal na nangangahulugang isang carrier ng wafer na nakabatay sa kuwarts na may isang baluktot (hubog) na disenyo ng plato na na-optimize para sa unipormeng pagproseso ng wafer sa paggawa ng semiconductor na may mataas na temperatura.