Pangalan:

6 pulgada Quartz Boat Series

Pag-andar at Aplikasyon:

Kasama sa seryeng ito ang iba't ibang mga bangka ng kuwarts, tulad ng mga bangka ng hawla, mga bangka ng baffle, mga bangka ng base, at karaniwang mga bangka ng wafer, na idinisenyo para sa pagsuporta sa mga wafer ng silikon sa panahon ng mga proseso ng semiconductor na may mataas na temperatura tulad ng pagsasabog, oksihenasyon, pagdeposito ng CVD, at paglilinis ng wafer. Ang iba't ibang mga hugis at istraktura na ito ay nag-optimize ng daloy ng gas, thermal uniformity, at katatagan ng wafer sa isang malawak na hanay ng mga aplikasyon sa pagmamanupaktura at pananaliksik.

Mga Kinakailangan sa Pagganap:

Mataas na kadalisayan fused kuwarts konstruksiyon na may mahusay na thermal katatagan, kaagnasan paglaban, at mababang karumihan nilalaman. Matibay na disenyo upang mapaglabanan ang paulit-ulit na thermal cycling. Makinis, makintab o sandblasted ibabaw upang mabawasan ang pagbuo ng maliit na butil at kontaminasyon, tinitiyak ang pagiging tugma sa mga awtomatikong sistema ng paghawak ng wafer at iba't ibang uri ng pugon.