Pangalan:
8-pulgada na mga base ng kuwarts
Pag-andar at Aplikasyon:
Ang isang baffle ay inilalagay sa gitnang uka ng base upang maikalat ang daloy ng gas at matiyak ang matatag na pagkakalantad ng gas sa mga wafer ng silikon sa loob ng nangungunang naka-mount na bangka ng kuwarts. Ginagamit ito sa mga proseso ng pagmamanupaktura ng wafer tulad ng pagsasabog, oksihenasyon, pagdeposito ng CVD, at pagsusubo, na kung saan ay mga proseso ng mataas na temperatura.
Mga Kinakailangan sa Pagganap:
Mataas na temperatura paglaban, kaagnasan paglaban, mahusay na thermal katatagan, sandblasted ibabaw, at mababang karumihan nilalaman.
No.5177 Qianghua West Road, Dongqian Street, Nanxun District, Huzhou City, Zhejiang Province
+86-572-3032373
+86-572-3033016
Angkuwarts pedestal Nagsisilbi bilang isang matatag na platform ng suporta sa loob ng mga semiconductor at photovoltaic furnace system, na idinisenyo upang i-hold ang mga wafer o quartz boat nang ligtas sa panahon ng pagproseso ng mataas na temperatura. Ginawa mula sa mataas na kadalisayan fused quartz, nag-aalok ito ng pambihirang thermal resistance, chemical inertness, at mekanikal na lakas.
Ang tumpak na sukat nito ay nagsisiguro ng pinakamainam na pagkakahanay at spacing, na nagtataguyod ng pare-parehong pamamahagi ng temperatura at daloy ng gas sa paligid ng mga wafer. Ang matibay na konstruksiyon ng pedestal ay nakatiis sa paulit-ulit na thermal cycling nang walang pagbaluktot o kontaminasyon, na nag-aambag sa pare-pareho ang mga resulta ng proseso at mahabang buhay ng kagamitan.
Mga Pangunahing Tip sa Pagpapanatili:
Mga benepisyo ng wastong pangangalaga:
1. Pinalawig na haba ng buhay ng pedestal
2. Nabawasan ang panganib ng kontaminasyon para sa mga wafer
3. Pinahusay na pagkakapareho ng proseso at ani
4. Mas kaunting mga kapalit at mas mababang gastos sa pagpapatakbo
Sa pamamagitan ng pagpapatupad ng isang pare-pareho na gawain sa pagpapanatili, ang mga semiconductor fabs ay maaaring matiyak na ang mga pedestal ng kuwarts ay patuloy na naghahatid ng mataas na pagganap, na pinoprotektahan ang parehong kagamitan at kalidad ng wafer sa hinihingi na mga kapaligiran na may mataas na temperatura.