Pangalan:
8-pulgada na mga base ng kuwarts
Pag-andar at Aplikasyon:
Ang ilang mga baffles ay inilalagay sa gitna ng base upang maikalat ang daloy ng gas at matiyak ang matatag na pagkakalantad ng gas sa mga wafer ng silikon sa loob ng bangka ng kuwarts na nakaposisyon sa itaas. Ito ay inilalapat sa mga proseso ng pagmamanupaktura ng wafer tulad ng pagsasabog, oksihenasyon, CVD deposition at pagsusubo, na kung saan ay mga proseso ng mataas na temperatura.
Mga Kinakailangan sa Pagganap:
Mataas na temperatura paglaban, kaagnasan paglaban, mahusay na thermal katatagan, sandblasted ibabaw, at mababang karumihan nilalaman.
No.5177 Qianghua West Road, Dongqian Street, Nanxun District, Huzhou City, Zhejiang Province
+86-572-3032373
+86-572-3033016
Angfused quartz pedestal ay isang kritikal na bahagi ng suporta na idinisenyo para sa semiconductor at photovoltaic na kagamitan sa pagproseso ng mataas na temperatura. Ginawa mula sa ultra-purong fused quartz, nagbibigay ito ng mahusay na paglaban sa thermal shock, kawalang-kilos ng kemikal, at mekanikal na tibay sa ilalim ng mahigpit na thermal cycling.
Tinitiyak ng pedestal na ito ang matatag at tumpak na pagpoposisyon ng mga wafer o kuwarts bangka sa loob ng diffusion, oksihenasyon, LPCVD, at pagsusubo furnaces. Ininhinyero para sa pagiging tugma sa iba't ibang mga 8 pulgada na mga bangka ng kuwarts at mga sistema ng pugon, sinusuportahan ng fused quartz pedestal ang maaasahan, walang kontaminasyon na pagproseso na mahalaga para sa advanced na paggawa ng semiconductor.
Ang matibay na fused quartz pedestals ay nakatiis ng paulit-ulit na thermal cycling at pagkakalantad sa kemikal, na nagpapaliit ng pagbasag at pagpapapangit. Ang mas kaunting mga kapalit ay nangangahulugang mas mababang gastos sa pagkuha sa paglipas ng panahon.
Tinitiyak ng maaasahang mga pedestal ang matatag na pagpoposisyon ng wafer at pare-pareho ang daloy ng gas, na binabawasan ang panganib ng pag-shutdown ng pugon na sanhi ng pagkabigo ng pedestal. Ang mas kaunting downtime ay direktang isinasalin sa mas mataas na kahusayan sa produksyon at pagtitipid sa gastos.
Ang mataas na kalidad na fused quartz ay lumalaban sa kaagnasan at kontaminasyon, na binabawasan ang pangangailangan para sa mga interbensyon sa paglilinis at pagpapanatili. Ang mga koponan sa pagpapanatili ay maaaring tumuon sa iba pang mga kritikal na gawain, na nakakatipid ng mga gastos sa paggawa.
Ang mga matatag na pedestal ay nagpapanatili ng pare-parehong thermal distribution at spacing, na nagpapababa ng mga depekto sa wafer at nagdaragdag ng ani. Ang mas mataas na ani ay binabawasan ang mga nasayang na materyales at nagpapabuti sa pangkalahatang kakayahang kumita.
Habang ang matibay na fused quartz pedestals ay maaaring magkaroon ng mas mataas na paunang gastos, ang kanilang kahabaan ng buhay, katatagan ng pagganap, at pagbawas sa mga di-tuwirang gastos ay nagreresulta sa isang kanais-nais na pagbabalik sa pamumuhunan para sa mga tagagawa ng semiconductor.