AngVertical Quartz Boat ay dinisenyo upang ligtas na hawakan ang 200 mm wafers sa vertical furnace system na ginagamit para sa mga proseso ng mataas na temperatura tulad ng oksihenasyon, pagpapalaganap at LPCVD. Manufactured mula sa mataas na kadalisayan fused quartz, nag-aalok ito ng pambihirang paglaban sa thermal shock, kemikal na kaagnasan, at mekanikal na pagpapapangit.

Engineered para sa vertical loading configurations, ito kuwarts bangka tinitiyak unipormeng wafer spacing at matatag na pagkakahanay, nagtataguyod ng kahit na pamamahagi ng gas at pare-pareho thermal exposure sa buong lahat ng wafer ibabaw. Ang matigas na konstruksiyon nito ay nagpapanatili ng integridad sa ilalim ng thermal cycling, binabawasan ang mga panganib sa kontaminasyon at nagpapahusay ng pag-uulit ng proseso.

Mataas na Kadalisayan Vertical Quartz Boats: Susi sa Pare-pareho ang Kalidad ng Wafer

Ang mga bangka na may mataas na kadalisayan na vertical quartz ay mahahalagang bahagi sa pagmamanupaktura ng semiconductor, na idinisenyo upang ihatid at suportahan ang mga wafer ng silikon sa panahon ng mga proseso ng mataas na temperatura tulad ng pagpapalaganap ng oksihenasyon, oksihenasyon, at pagdeposito ng CVD. Itinayo mula sa ultra-purong kuwarts, ang mga bangka na ito ay nagpapaliit ng mga panganib sa kontaminasyon, tinitiyak na ang mga wafer ay mananatiling malinis sa buong pagproseso.

Ang vertical na disenyo ay nagtataguyod ng pare-parehong daloy ng gas at pamamahagi ng init sa lahat ng mga wafer, binabawasan ang mga gradient ng temperatura at nagpapabuti ng pagkakapare-pareho ng proseso. Ang makinis, mababang-karumihan na ibabaw ay pumipigil sa pagbuo ng mga maliit na butil at tumutulong na mapanatili ang mga pamantayan sa cleanroom, na direktang nag-aambag sa mas mataas na ani ng wafer at maaasahang pagganap ng aparato.

Matibay at thermally matatag, mataas na kadalisayan vertical kuwarts bangka makatiis paulit-ulit na thermal cycling nang walang pagpapapangit o pag-crack. Sa pamamagitan ng pagpili ng mga carrier na ito na ininhinyero ng katumpakan, ang mga semiconductor fab at pasilidad sa pananaliksik ay maaaring makamit ang mas mahuhulaan na mga resulta, mapahusay ang throughput, at mapanatili ang mahigpit na kontrol sa kalidad sa hinihingi na mga kapaligiran sa pagmamanupaktura.