AngFused Quartz Caps Ang mga ininhinyerong bahagi ay idinisenyo upang ligtas na mabuklod ang mga tubo ng kuwarts, reactor, at wafer boat sa panahon ng mataas na temperatura na semiconductor at photovoltaic processing. Ginawa mula sa ultra-mataas na kadalisayan fused kuwarts, ang mga takip na ito ay nagbibigay ng mahusay na paglaban sa thermal shock, katatagan ng kemikal, at lakas ng mekanikal.

Tinitiyak nila ang isang mahigpit, walang kontaminasyon na selyo na pumipigil sa pagtagas ng gas at pinapanatili ang integridad ng kapaligiran ng proseso sa panahon ng oksihenasyon, pagpapalaganap ng LPCVD, at pagsusubo ng mga operasyon. Ang tibay ng mga takip ay nagbibigay-daan para sa paulit-ulit na thermal cycling nang walang pagpapapangit, na sumusuporta sa pare-pareho ang mga resulta ng proseso at pinalawig na buhay ng kagamitan.

Mga Karaniwang Isyu sa Fused Quartz Caps at Paano Maiiwasan ang mga Ito

1. Pag-crack Dahil sa Thermal Shock

Sanhi:Mabilis na pagbabago ng temperatura o hindi pantay na pag-init.

Pag-iwas:Unti-unting painitin ang pugon at tiyakin ang pare-parehong pamamahagi ng temperatura. Gumamit ng mataas na kalidad, mataas na kadalisayan fused quartz upang mapabuti ang paglaban ng thermal shock.

2. Kontaminasyon sa Ibabaw

Sanhi:Mga particle, residu ng kemikal, o impurities mula sa mga gas ng proseso.

Pag-iwas:Linisin ang mga takip bago gamitin gamit ang ultra-purong mga kemikal, mapanatili ang isang cleanroom na kapaligiran, at maiwasan ang direktang pakikipag-ugnay sa mga kontaminadong ibabaw.

3. Pagpapapangit o Baluktot

Sanhi:Labis na mekanikal na stress o matagal na pagkakalantad sa mataas na temperatura.

Pag-iwas:Gumamit ng mga takip na ininhinyero ng katumpakan na idinisenyo para sa iyong uri ng pugon at iwasan ang labis na paghihigpit o hindi wastong pag-install.

4. Pagguho ng kemikal

Sanhi:Agresibong proseso ng mga gas o paulit-ulit na pagkakalantad sa mataas na temperatura.

Pag-iwas:Pumili ng mataas na kadalisayan, lumalaban sa kaagnasan na fused quartz, at subaybayan ang kemikal na kapaligiran sa pugon.

5. Maling pagkakahanay sa hurno

Sanhi:Ang hindi maayos na mga takip ay maaaring maging sanhi ng hindi pantay na pamamahagi ng init at mga isyu sa daloy ng gas.

Pag-iwas:Tiyaking tumutugma ang mga takip sa mga pagtutukoy ng pugon at suriin ang pagkakahanay bago tumakbo ang bawat proseso.