Angbentilasyon kuwarts panloob na tubo ay dinisenyo para sa tumpak na kontrol ng daloy ng gas at thermal paghihiwalay sa loob ng mga sistema ng semiconductor furnace. Ginawa mula sa mataas na kadalisayan fused quartz, nagpapakita ito ng mahusay na paglaban sa thermal shock, kemikal na kaagnasan, at kontaminasyon ng maliit na butil - ginagawa itong perpekto para sa hinihingi na mga proseso ng mataas na temperatura.

Bilang isang panloob na bahagi ng mga istraktura ng double-tube furnace, ang quartz tube na ito ay nagdidirekta ng mga gas ng proseso nang pare-pareho sa ibabaw ng wafer habang pinapanatili ang paghihiwalay mula sa pader ng pugon. Ang na-optimize na geometry nito ay nagpapahusay sa daloy ng laminar, binabawasan ang mga epekto ng layer ng hangganan, at sumusuporta sa pare-pareho na mga resulta ng deposito o pagsasabog sa buong 200 mm wafers.

Pag-optimize ng Wafer Yield Gamit ang Ventilation Quartz Inner Tubes

Ang bentilasyon kuwarts panloob na tubo ay mahalagang bahagi sa pagproseso ng semiconductor, na idinisenyo upang matiyak ang matatag at pare-parehong daloy ng gas sa loob ng mga hurno na may mataas na temperatura. Sa pamamagitan ng pagtataguyod ng pare-pareho na pagkakalantad sa mga gas ng proseso, ang mga tubo na ito ay tumutulong na mapanatili ang thermal uniformity sa lahat ng mga wafer, binabawasan ang mga depekto at nagpapabuti ng pangkalahatang ani.

Ginawa mula sa mataas na kadalisayan fused quartz, ang mga panloob na tubo ay lumalaban sa kaagnasan ng kemikal, thermal shock, at kontaminasyon ng maliit na butil, na pinoprotektahan ang mga sensitibong wafer sa panahon ng pagpapalaganap ng mga proseso, oksihenasyon, at CVD. Ang tamang pag-install, regular na pagpapanatili, at disenyo ng katumpakan ay higit na nagpapahusay sa pamamahagi ng gas, i-minimize ang pagkakaiba-iba ng wafer-to-wafer, at matiyak ang paulit-ulit, mataas na kalidad na mga resulta.

Ang paggamit ng bentilasyon kuwarts panloob na tubo epektibong nagbibigay-daan sa semiconductor fabs upang makamit ang mas mataas na ani, mapanatili ang pagkakapare-pareho ng proseso, at itaguyod ang mahigpit na mga pamantayan sa cleanroom.